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金年会半导体产生的废气如何处理半导体废气处理方法

作者:小编 时间:2024-06-15 06:35:32 点击:

  金年会去年,我们接到上海一家半导体设计公司的电话咨询,这家企业共有九条生产线,五条已建,四条拟建金年会,包括晶圆彩色滤光片和微镜头封装生产线,生产时需要用有机溶液对晶片表面进行清洗金年会,挥发一部分有机废气,还有酸碱废气,无法达标排放金年会,提出增设废气处理设备需求。

金年会半导体产生的废气如何处理半导体废气处理方法(图1)

  废气经主工艺风机输送至沸石转轮,废气中的VOCs被沸石吸附后达标排放至大气中金年会,由脱附风机输送的热空气将VOCs从沸石中脱附出来,再由TO风机输送至TO反应器中,被氧化成CO2和H2O,达标排放至大气中。

金年会半导体产生的废气如何处理半导体废气处理方法(图2)

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